ウエハー用クリーン合紙・挿間紙 MK-WSF, WSE

ウエハー同士の傷付き防止に、間に挟む無塵紙・クリーンペーパー

ウエハーの間に挟む紙は、クリーンペーパーでできた無塵紙のエンボス挿間紙です。
ウエハー用クリーン合紙 MK-WSE(写真はエンボスタイプ)

ウエハーの間に挟んで積み重ねることができます。

クリーンルーム内では、紙粉が発生する一般紙の持込みや使用はできません。
さらにウエハーに挟む挿間紙には、クリーンペーパーと呼ばれる無塵紙が必要で、その中でも高性能かつ品質が安定した本製品「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。

本製品には、表面にエンボス加工を施したWSEとフラットなWSFの2種類があります。
エンボスタイプは、無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、クッション性が良く、剥がしやすくなります。

製品の原料には、一般紙よりも長い繊維を使っており、紙を破っても紙粉の発生や繊維の脱落を防ぎます。
くわえて原料に少量の樹脂を混ぜることで、さらに安定した防塵性能を発揮します。
それらをクリーンルームで加工し、そして真空パック(クリーンパック)して出荷致します。

使用後の廃棄も、一般的な紙として古紙リサイクルや焼却処分ができるので、安心して使えるウエハー用の合紙です。
導電性クリーンペーパー仕様も、別注にて製作できます。

紙粉が出ない合紙は、ウエハーを積み重ねて保管するときに使います。

ウエハーの間に挟む紙は、クリーンペーパーでできた無塵紙の挿間紙です。

フラットタイプ MK-WSF

  • 表面はエンボスがないフラットな一般型です。
  • ウエハーの間に挟んで、傷付きやガタを防止。
  • 破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。
  • クリーンルームで加工→真空クリーンパック品。
  • 厚さ…90μ
クリーンルーム用ウエハー挿間紙は、凹凸がクッションになって剥がしやすい合紙です。

エンボスタイプ MK-WSE

  • 表面に凹凸エンボス加工済。(20μ厚×3㎜角)
  • クッション性とはがしやすさが向上します。
  • 破り・擦り・揉みに対しての紙粉を抑えます。
  • クリーンルームで加工→真空クリーンパック品。
  • 厚さ…90μ+エンボス20μ

ウエハー用クリーン合紙MK-WSF, WSEの規格サイズ

クリーンルームでウエハーに挟む紙は、無塵紙の合紙や挿間紙を使います。

ウエハー傷防止の合紙・挿間紙MK-WSE, WSF の特徴・用途例

ウエハー用傷付き防止シートの特徴

  • 長繊維の原料を使い、顔料不使用の高性能無塵紙です。
  • クリーンルームにて加工後真空パックしています。
  • 破れ・擦り・揉みに対して粉塵がほとんど出ません。
  • 一般的な紙として、古紙リサイクルや焼却処分ができます。
  • JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。
  • パルプ繊維特有の耐熱性があり、短時間の熱処理ができます。
  • 別注サイズも製作可能です。
  • 安定した性能を発揮する安心の製品です。

用途例

  • 硝子やウエハーなどの合紙・挿間紙
  • クリーンルーム内で使用する無塵紙として
  • 導電性クリーンペーパー仕様も別注にて可能です。