ウエハー同士の傷付き防止に、間に挟む無塵紙・クリーンペーパー

ウエハーの間に挟んで積み重ねることができます。

クリーンルーム内では、紙粉が発生する一般紙の持込みや使用はできません。
さらにウエハーに挟む挿間紙には、クリーンペーパーと呼ばれる無塵紙が必要で、その中でも高性能かつ品質が安定した本製品「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。

本製品には、表面にエンボス加工を施したWSEとフラットなWSFの２種類があります。
エンボスタイプは、無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、クッション性が良く、剥がしやすくなります。

製品の原料には、一般紙よりも長い繊維を使っており、紙を破っても紙粉の発生や繊維の脱落を防ぎます。
くわえて原料に少量の樹脂を混ぜることで、さらに安定した防塵性能を発揮します。
それらをクリーンルームで加工し、そして真空パック（クリーンパック）して出荷致します。

使用後の廃棄も、一般的な紙として古紙リサイクルや焼却処分ができるので、安心して使えるウエハー用の合紙です。
導電性クリーンペーパー仕様も、別注にて製作できます。

紙粉が出ない合紙は、ウエハーを積み重ねて保管するときに使います。

ウエハー用クリーン合紙MK-WSF, WSEの規格サイズ

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ウエハー傷防止の合紙・挿間紙MK-WSE, WSF の特徴・用途例

ウエハー用傷付き防止シートの特徴

• 長繊維の原料を使い、顔料不使用の高性能無塵紙です。
• クリーンルームにて加工後真空パックしています。
• 破れ・擦り・揉みに対して粉塵がほとんど出ません。
• 一般的な紙として、古紙リサイクルや焼却処分ができます。
• JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。
• パルプ繊維特有の耐熱性があり、短時間の熱処理ができます。
• 別注サイズも製作可能です。
• 安定した性能を発揮する安心の製品です。

用途例

• 硝子やウエハーなどの合紙・挿間紙
• クリーンルーム内で使用する無塵紙として
• 導電性クリーンペーパー仕様も別注にて可能です。