クリーンルーム用トレーや容器・ケース類
クリーンルームで持ち運ぶ箱や容器などの入れ物は、専用品が必要です。
一般のトレーや容器など粉塵対策をしていない製品はクリーンルームに持ち込めないため、必ず専用品を使います。
表面にホコリが付着しないように、導電性材料や帯電防止加工などの静電気対策が施されていると、さらに高度なクリーン管理が可能になります。
ウエハーや部品を入れるケーストレー箱は、静電気帯電防止の対策品でクリーンルーム用の導電性樹脂製容器です。
一般のトレーや容器など粉塵対策をしていない製品はクリーンルームに持ち込めないため、必ず専用品を使います。
表面にホコリが付着しないように、導電性材料や帯電防止加工などの静電気対策が施されていると、さらに高度なクリーン管理が可能になります。