クリーンルーム用トレーや容器・ケース類

クリーンルームで持ち運ぶ箱や容器などの入れ物は、専用品が必要です。

一般のトレーや容器など粉塵対策をしていない製品はクリーンルームに持ち込めないため、必ず専用品を使います。
表面にホコリが付着しないように、導電性材料や帯電防止加工などの静電気対策が施されていると、さらに高度なクリーン管理が可能になります。

クリーンルーム用の導電性プラスチックトレーは、静電気の帯電を防止する対策品です。

クリーンルーム用のウエハーを入れる導電性ケースです。密封できるので内部に粉塵やホコリが入らず、静電気の帯電とパーティクル汚染を防ぎます。

上下2枚のフィルムで挟んで空間で固定する保護ケースです。容器を落としても衝撃を吸収して伝わらないので、中身の部品が破損しません。

クリーンルーム用の紙管は、クリーンペーパーを使った低発塵の紙芯です。帯電防止の製品なので、静電気対策もできます。

クリーンルーム用の段差が無いシームレス紙管は、表面に巻き跡のつなぎ目段差がありません。