クリーンルーム用トレーや容器・ケース類

クリーンルームで持ち運ぶ箱や容器などの入れ物は、専用品が必要です。

一般のトレーや容器など粉塵対策をしていない製品はクリーンルームに持ち込めないため、必ず専用品を使います。表面にホコリが付着しないように導電性材料や帯電防止加工などの静電気対策が施されていると、さらに高度なクリーン管理が可能になります。

クリーンルーム用の導電性プラスチックトレーは、静電気の帯電を防止する対策品です。

クリーンルーム用のウエハーを入れる導電性ケースです。密封できるので内部に粉塵やホコリが入らず、静電気の帯電とパーティクル汚染を防ぎます。

上下2枚のフィルムで挟んで空間で固定する保護ケースです。容器を落としても衝撃を吸収して伝わらないので、中身の部品が破損しません。